高真空隔膜阀是利用阀杆将橡胶膜直接压在阀座上用来截止或接通真空系统。适用的工作介质为空气及非腐蚀性气性，是真空系统中供切断或接通气流之用。
适用范围：10 5 ～1.3x10 -4 Pa；
漏气率：6.7x10 -4 Pa.L/S。
高真空隔膜阀介质温度：
丁腈橡胶时－25℃～+80℃；
隔膜为氟橡胶时－30℃～＋150℃。